Главная » 2019»Январь»11 » Д.В. Камлюк - Технологическое оборудование для микроэлектроники
14:01
Д.В. Камлюк - Технологическое оборудование для микроэлектроники
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.
Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования
Автор: Д.В. Камлюк Язык: Русский Издательство: РИПО Жанр: Электроника Год: 2014 Формат: pdf Размер: 63,8 MB
